표면은 이온 충격에 의해 세정되며, 사용된 공정 가스에 따라 화학 반응에 의해 세정된다. 불순물은 기체로 분해된 다음 펌프에 의해 제거된다(플라즈마 세정).DIN 8590에 따르면, 이 용어는 기계적 수단 이외의 수단에 의해 표면 입자 물질을 제거해 고형 물체를 마감 처리하는 것을 말한다.세정은 물질층 제거를 의미할 뿐 아니라 가공 부품의 분리를 의미하기도 한다.

A surface is cleaned by ion bombardement and, depending on the employed process gas, by chemical reactions. The impurity is decomposed to gaseous products and removed by the pump (plasma cleaning).According to DIN 8590, this term refers to the finishing of a solid body through the removal of surface particulate material by other than mechanical means.Cleaning refers not only to the removal of material layers but also to the separation of workpiece parts.