극초단파(2.45 GHz)는 저압 플라즈마의 여기로 사용된다. 장점으로 낮은 가격, 식각 및 중합반응 공정의 고효율을 들 수 있다. 단점으로 복잡한 배선의 필요, 고전압, 유리 용기의 제한, 낮은 동질성을 들 수 있다.

Microwaves (2,45 GHz) are employed as excitation for low pressure plasmas. The advantages are the low price and the high efficiency in etching and polymerisation process. The disadvantages are the need for complicated wiring, high voltages, the restriction to glass recipients and the bad homogeneity.