고체를 통한 액체 또는 가스의 대부분 바람직하지 않은 확산. 투과 장벽층은 플라즈마 공정을 통해서 생성될 수 있다(장벽층 참조).

Mostly undesired diffusion of a liquid or gas through a solid. Permeation barrier layers can be generated via plasma processes (see barrier layers).