가스 압력으로 인한 고온 와이어에 의해 가열되는 가스의 열전도성 변화에 기초한 압력 센서. 동작 범위는 10에서 10-3 mbar 영역이다. 플라즈마 장치에서 종종 사용된다.
Pressure sensor based on the change of thermal conductivity of gas heated by a hot wire from the gas’ pressure. The working range is in the area from 10 to 10-3 mbar. Often applied in plasma devices.