플라즈마 시스템은 "플라즈마 애셔"라고도 알려져 있다. 이러한 플라즈마 시스템을 이용하면, 예를 들어 실리콘 웨이퍼에서 포토레지스트도 제거할 수 있다.
The plasma systems are also known as "plasma asher". With this plasma systems it is possible to remove photoresist for example from silicon wafers.