플라즈마 화학작용은 원자가 가스 방전에 의해 여기될 때 가스상 또는 표면의 화학 반응이 낮은 공정 온도에서 발생할 수 있다는 사실을 광범위하게 활용한다.

Plasma chemistry makes extensive use of the fact that chemical reactions in the gas phase or at surfaces can occur at low process temperature when the atoms are excited by a gas discharge.