플라즈마를 이용한 비금속 원자의 확산에 의해 높은 온도에서 금속 표면의 순화를 포함하는 공정을 통칭. 가장 중요한 사례는 플라즈마 질화, 플라즈마 침질탄화, 플라즈마 침탄질화이다. 표면에 생성되는 각각의 탄화물상 또는 질화물상은 몇 µm 두께이며 비처리 금속보다 훨씬 더 단단하다. 최고 100 µm 두께의 하부 확산층도 모재보다 더 단단하다.

Collective term for processes involving the refinement of a metal’s surface at elevated temperature by diffusion of nonmetal atoms by means of of a plasma. The most important examples are plasma nitriding, plasma nitocarburising, plasma carburising and plasma carbonitriding. The respective carbide or nitride phases generated on the surface are some µm thick and much harder than the untreated metal. The underlying diffusion layer with a thickness of up to some 100 µm is also harder than the base material.