플라즈마 시스템은 "플라즈마애셔"라고도 알려져 있다. .이러한 플라즈마 시스템을 이용하면, 예를 들어 실리콘 웨이퍼에서 포토레지스트를 제거할 수 있다.
The plasma systems are also known as "plasmaasher". With this plasma systems it is possible to remove photoresist for example from silicon wafers.