고분자를 형성하기 위한 단량체 상호간의 반응. 중합반응은 여기 분자가 가스상에서 서로 반응하고 서브스트레이트에 레이어로 증착될 때 플라즈마에서도 발생할 수 있다. 중합반응 공정 기술은 활성화 및 탈지 공정보다 훨씬 더 복잡하다. 자세한 내용: 플라즈마 중합반응 참조.

Reaction of monomers with each other to form macromolecules. Polymerisations can also occur in plasma, when excited molecules react with each other in the gas phase and deposite as layer on the substrate.The process technology is significantly more complex than in activating and degreasing. Further information: see Plasma Polymerisation.