가장 중요한 공정 가스는 다음과 같다. 산소, 수소, 테트라플루오로메탄, 아르곤, 헬륨, 육불화황, 공기, 물...

The most important process gases are: oxygen, hydrogen, terafluoromethane, argon, helium, sulfur hexafluoride, air, water...