증발 가스와 반응하는 플라즈마에 반응성 가스가 도입되어 화합물 피막을 형성하는 플라즈마 보조 이온 플레이팅 방법. 예를 들어, 티타늄 기체는 질소와 반응해 티타늄 질화물 피막을 형성할 수 있다.

Plasma assisted ion plating method, in which a reactive gas is introduced into a plasma which reacts with the evaporant, forming a compound coating. For example titanium vapour can be reacted with nitrogen to form a titanium nitride coating.