diener electronic : Silicon carbide 탄화 규소


	Silicon carbide 탄화 규소 SiC. IC용 서브스트레이트로 널리 사용되는 경질의 물질. SiC는 불소를 함유한 공정 가스를 사용해 플라즈마 식각 처리할 수 있다. SiC, hard material widely used as substrate for ICs. SiC can be plasma etched employing fluorine-containing process gases.

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