이차 이온 질량 분광법(Secondary Ion Mass Spectrometry)으로. 박층 분석을 위한 민감한 방법. 고에너지 일차 이온이 표면에 충격을 가해 다른 입자 이외에도 레이어 물질의 이차 이온을 방출한다. 이러한 이차 이온은 질량 분광법을 이용해 직접 검출할 수 있다.

Secondary Ion Mass Sopectrometry, sensitive method for thin layer analysis. The surface is bombarded with high energy primary ions leading to the emission of, beside other particles, secondary ions from the layer material. These can directly be detected by means of mass spectrometry.