비행 시간 이차 이온 질량 분광법(Time of Flight Secondary Ion Mass Spectrometry)의 약어이며, 펄스 이온 빔에 의한 표면 충격을 포함하는 표면 분석법. 방출된 이차 이온의 비행 시간에 기초해 이차 이온의 질량 및 그 원소를 식별할 수 있다.
Time of Flight Secondary Ion Mass Spectrometry, surface analytical method involving the surface's bombardment by a pulsed ion beam. From the time of flight of the emitted secondary ions, their mass and therefore their element can be identified.