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 Turbomolecular pump 터보 분자 펌프 

터보 분자 펌프는 때때로 터보 펌프라고도 하며, 제트 엔진과 비교하여 직렬로 정렬된 회전자와 정지자로 구성되어 있고 극히 낮은 압력(10-10 mbar까지)에 사용되는 펌프이다.
터보 분자 펌프의 회전 횟수는 몇 만 회/분이다. 터보 분자 펌프의 펌핑 용적은 압력이 증가함에 따라 감소하기 때문에, 터보 분자 펌프는 다른 펌프, 대체로 회전 날개 펌프와 연동해서만 동작할 수 있다.
터보 분자 펌프는 다른 펌프 종류(회전 날개, 루츠)로 얻을 수 없는 매우 낮은 압력이 요구될 때 플라즈마 장치에서 종종 사용된다.

Turbomolecular pumps, sometimes also termed as turbo pumps are pumps for extremely low pressure (down to 10-10 mbar), composed of series of aligning rotors and stators, comparable to a jet engine. The turning frequencies of turbomolecular pumps amount several 10000 /min. As the pumping volume of turbomolecular pumps decreases with increasing pressure, they can only be run in connection with another pump, usually a rotating vane pump. Turbomolecular pumps are often used in plasma devices when very low pressures not available with other pump types (rotating vane, roots) are desired.



   
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