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가스 [예: HMDSN(hexamethyldisiloxan), HMDSN(hexamethyldisilazane), tetraethylenglykol-dimethyl ether, C2F6 ...]를 플라즈마 챔버로 유입합니다. 플라즈마 중합을 통해 표면의 레이어가 분리됩니다.
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| 플라즈마 처리 전 |
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플라즈마 처리 |
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플라즈마 처리 후 |
응용분야:
- 소수성 레이어의 분리
- 친수성 레이어의 분리
- 예를 들어 확산 장벽으로 사용
구성부품:
- 정밀 변속기
- 식기 세척기
- 의료기기
- 헤드라이트 반사경
- 비디오 헤드 등
사용 분야:
- 바이오칩 제조업체
- 정밀기계 제조업체
- 식기세척기 제조업체
- 의학 기술
- 센서 제조업체
- 직물 제조업체
- 시계 제조업체
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