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플라즈마 – 표준 장치
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[ 플라즈마 시스템FEMTO ]
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반자동으로 제어되는 2리터 테스트장비 FEMTO는 대부분 다음 분야에서 사용됩니다.
- 소량일괄생산
- 분석기(REM, TEM)
- 의학 기술
- 멸균
- 연구 개발 부서
- 고고학
- 섬유공학
- 반도체 기술
- 플라스틱 기술
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FEMTO 전망 (PDF 1007 KB) |
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모든 플라즈마 장치는 다양한 종류와 조합하여 사용할 수 있습니다. 다음 개요는 일반적인 장비에 대한 주요 내용을 알 수 있도록 도움을 줍니다. |
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기술 데이터:
디지털 타이머를 장착한
플라즈마 세정기 Femto
배전반:
W 345 mm, H 220 mm, T 420 mm
챔버:
Ø 100 mm, L 270 mm
챔버 체적:
약 2리터
가스 공급:
니들 밸브를 사용한 1개의 가스 채널
제너레이터:
40kHz/100W, 무단식
진공 펌프:
Leybold, 타입 S1.5 (1.5m³/h)
부품 유입:
1개의 제품 캐리어
제어장치:
수동, 타이머를 사용한 공정 시간
옵션/액세서리
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소형장치 FEMTO (버전 1) : 공정개발, 세정, 활성화, 소량 일괄 식각
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기술 데이터:
디지털 타이머를 장착한
플라즈마 세정기 Femto
배전반:
W 345 mm, H 220 mm, T 420 mm
챔버:
Ø 100 mm, L 270 mm
챔버 체적:
약 2리터
가스 공급:
니들 밸브를 사용한 1개의 가스 채널
제너레이터:
40kHz/100W, 무단식
진공 펌프:
Leybold, 타입 S1.5 (1.5m³/h)
부품 유입:
1개의 제품 캐리어
제어장치:
수동, 타이머를 사용한 공정 시간
타이머:
타이머 LT4H
옵션/액세서리
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타이머를 장착한 소형 FEMTO(버전 2) : 소형일괄생산의 공정 개발, 세정 ,
활성화, 식각
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기술 데이터:
플라즈마 세정기 Femto PCCE
배전반:
W 562 mm, H 211 mm, T 420 mm
챔버:
Ø 100 mm, L 280 mm
챔버 체적:
약 2.8리터
가스 공급:
MFC를 사용한 2개의 가스 채널
제너레이터:
40kHz/100W, 무단식
진공 펌프:
Leybold, 타입 S1.5 (1.5m³/h)
부품 유입:
1개의 제품 캐리어
제어장치:
PC 제어
옵션/액세서리
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소형 FEMTO PCCE(버전 3) :
혁신적인
터치스크린을 장착한
소형일괄생산의 공정 개발, 세정,
활성화, 식각
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기술 데이터:
플라즈마 세정기 Femto
배전반:
W 345 mm, H 220 mm, T 420 mm
챔버:
Ø 100 mm, L 270 mm
챔버 체적:
약 2리터
가스 공급:
니들 밸브를 통한 1개의 가스 채널
제너레이터:
13.56 MHz/50W, 무단식
진공 펌프:
Leybold, 타입 S1.5 (1.5m³/h)
부품 유입:
1개의 제품 캐리어
제어장치:
수동, 타이머를 사용한 공정 시간
옵션/액세서리
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소형 FEMTO(버전 4) : 소형일괄생산의 공정 개발, 세정 ,
활성화, 식각
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기술 데이터:
플라즈마 세정기 Femto
(힌지 도어 장착)
배전반:
W 560 mm, H 310 mm, T 600 mm
챔버:
W 100 mm H 100 mm L 280 mm
챔버 체적:
약 2.8리터
가스 공급:
니들 밸브를 사용한 1개의 가스 채널
제너레이터:
40kHz/100W, 무단식
진공 펌프:
Leybold, 타입 S1.5 (1.5m³/h)
부품 유입:
1개의 제품 캐리어
제어장치:
수동, 타이머를 사용한 공정 시간
옵션/액세서리
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소형 FEMTO(버전 5) : 소형일괄생산의 공정 개발, 세정 ,
활성화, 식각
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기술 데이터:
플라즈마 세정기 Femto
배전반:
W 562 mm, H 211 mm, T 420 mm
챔버:
Ø 100 mm, L 270 mm
챔버 체적:
약 2리터
가스공급:
니들 밸브를 사용한 2개의 가스 채널
제너레이터:
40kHz/100W, 무단 조절가능
진공 펌프:
Leybold, 타입 S1.5 (1.5m³/h)
부품유입:
1개의 제품 캐리어
제어장치:
수동, 타이머를 사용한 공정 시간
압력측정장치:
Pirani
옵션/액세서리
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소형 FEMTO(버전 6) : 소형일괄생산의 공정 개발, 세정 ,
활성화, 식각
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기술 데이터:
Femto-PC
배전반:
W 500 mm, H 460 mm, T 550 mm
챔버:
Ø 100 mm, L 270 mm
챔버 체적:
약 2리터
가스공급:
각각 1개의 MFC를 사용한 3개의 가스 채널
제너레이터:
40 kHz/0-100 W
(옵션: 13.56 MHz o. 2.45 GHz)
진공펌프:
Leybold, 타입 S1.5 (1.5m³/h)
부품유입:
1개의 제품 캐리어
제어장치:
Windows 기반의 PC 제어
( PC 제어에 대한 페이지 참조)
옵션/액세서리
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소형 FEMTO-PC(버전 7) : 소형일괄생산의 공정 개발, 세정,
활성화, 식각
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기술 데이터:
플라즈마 세정기 Femto
배전반:
W 320 mm, H 500 mm, T 420 mm
챔버:
W 100 mm H 100 mm L 280 mm
챔버 체적:
약 2리터
가스공급:
니들 밸브를 사용한 2개의 가스 채널
제너레이터:
40kHz/100W, 무단 조절가능
진공 펌프:
Leybold, 타입 S1.5 (1.5m³/h)
부품유입:
1개의 제품 캐리어
제어장치:
수동, 타이머를 사용한 공정 시간
또는 자동
압력측정장치:
Pirani
옵션/액세서리
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소형 FEMTO(버전 8) : 소형일괄생산의 공정 개발, 세정,
활성화, 식각
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이 설비에 대한 기술적 상담이 필요한 경우 당사에 문의하십시오.
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