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기술 데이터:
배전반:
W 550 mm, H 330 mm, T 500 mm
챔버:
Ø 150 mm, L 320 mm
챔버 체적:
약 5리터
가스 공급:
니들 밸브를 사용한 2개의 가스 채널
제너레이터:
40kHz/200W, 무단식
(옵션: 13.56 MHz o. 2.45 GHz)
진공 펌프:
Leybold, 타입 Trivac D2.5B (2.5 m³/h) 부품 유입:
1개의 제품 캐리어
제어장치:
반자동, 타이머를 사용한 공정 시간
옵션/엑세서리
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소형 장치 PICO: 공정 개발, 세정, 활성화, 식각, 광학, 레이저 기술
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