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기술 데이터:
배전반:
W 550 mm, H 330 mm, T 500 mm
챔버:
Ø 130 mm, L 300 mm
챔버 개구부 Ø: 125 mm
재질: 석영 또는 붕규산 유리의
챔버 전면 벽 및 후면 벽: 알루미늄
챔버 체적:
약 4리터
가스 공급:
니들 밸브를 사용한 2개의 가스 채널
제너레이터:
40kHz/100W, 무단식
(옵션: 13.56 MHz o. 2.45 GHz)
진공 펌프:
Leybold, 타입 Trivac D2.5B (2.5 m³/h) 부품 유입:
1개의 제품 캐리어
제어장치:
반자동, 타이머를 사용한 공정 시간
옵션/엑세서리
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소형 장치 PICO UHP: 광학 부품의 세정에도 적합합니다.
PICO UHP 유리 수용체 내의 플라즈마
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