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플라즈마 장치 – 표준 장치
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[ NANO ]
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챔버 체적이 24리터이고 반자동으로 제어되는 소형 장치 NANO는 대부분 다음 분야에서 사용됩니다.
- 반도체 기술
- 정밀 엔지니어링
- 전자 기술
- 의학 기술
- 플라스틱 기술
- 탄성 중합체 기술
- 연구 개발
- 플라스틱 기술
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NANO 전망 (PDF 1068 KB) |
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기술 데이터:
배전반:
W 580 mm, H 650 mm, T 600 mm
챔버:
Ø 267 mm, L 420 mm
챔버 체적:
약 24리터
가스 공급:
니들 밸브를 사용한 2개의 가스 채널
제너레이터:
40kHz/300W, 무단식
(옵션: 13.56 MHz o. 2.45 GHz)
진공 펌프:
Leybold, 타입 D8B (8 m³/h)
부품 유입:
1개의 제품 캐리어
제어장치:
반자동, 타이머를 사용한 공정 시간
옵션/엑세서리
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반자동으로 제어하는 소형 장치 NANO: 세정, 활성화, 식각, 코팅
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전자동으로 제어하는 소형 장치 NANO:
세정, 활성화, 식각, 코팅
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힌지 도어를 장착하고 전자동으로 제어하는 소형 장치 NANO:
세정, 활성화, 식각, 코팅
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| 힌지 도어를 장착하고 전자동으로 제어하며 수동으로 일치시키고 온도 표시장치가 있으며 펌프가 통합된 소형 장치 NANO RF 세정, 활성화, 식각, 코팅용
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| 힌지 도어를 장착하고 PC로 제어하며 자동으로 일치시키고 온도 표시장치가 있으며 펌프가 통합되고 챔버가 각진 소형 장치 NANO RF: 세정, 활성화, 식각, 코팅용
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표시 가격은 확정적이지 않습니다. 이 장치들에 대한 기술적인 자문이 필요하므로 당사와 상담하십시오. |
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