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기술 데이터:
배전반:
W 600 mm, H 2,200 mm, T 850 mm
챔버:
W 305 mm, H 300 mm, T 370 mm
(옵션: T 625 mm)
챔버 체적:
약 34리터
가스 공급:
MFC를 사용한 3개의 가스 채널
제너레이터:
40 kHz/0-1,000 W
(옵션: 13.56 MHz 또는 2.45 GHz)
부품 유입:
최대 6개의 제품 캐리어
(옵션: 회전 드럼)
제어장치:
Windows 기반의 PC 제어
옵션/엑세서리
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PC로 제어하는 TETRA-30-LF-PC. 생산 컨셉트: 세정, 활성화, 식각 |
