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플라즈마 |
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[ 특수 장비 가공- 플라즈마 식각기 ] |
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당사는 플라즈마 장치를 고객의 요구에 맞게 구성합니다. 장비는 다음의 주요 포인트에 따라 컨셉을 잡고 설계됩니다:
- 예상되는 재료 플로우
- 처리하고자 하는 부품의 크기
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특수 장비:
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특수 플라즈마 장치 Tetra-100-LF-PC: |
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100리터 챔버부피, PC 제어 및 전자동식 도어가 장착된 생산설비 Tetra-100는 일괄가공/일괄생산(세정,식각 및 활성화)를 위해 사용됩니다. 장치의 몇가지 특성:
플라즈마 식각기 Tetra-100-LF-PC 슬라이딩 도어:
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기술 데이터:
Plasma etcher Tetra-100-LF-PC
스위칭 박스:
B 2,000 mm, H 2,200 mm, T 650 mm
챔버:
B 700 mm, H 200 mm, T 700 mm
챔버 부피:
약 100 리터
가스 공급:
MFCs를 통한 3개의 가스채널
플라즈마 폴리머젼을 위한 유체 모노머 투입량
제너레이터:
1 개 (40kHz)
(선택사항: 13,56 MHz o. 2,45 GHz)
부품- 수취:
롤간 시스템 2개
10층/제품 운반기
회전드럼(30리터 각 4 통)
제품 운반기를 통한 충진(3번째 그림 참조)
회전드럼(30리터 각 16 통)
롤 웨건을 통한 충진(두 번째 그림 참조)
제어:
PC 제어(Windows)
PC 제어(Windows) 산업-필드버스
자동화:
장치는 자동 슬라이딩 도어가 포함됩니다.
장치는 자동 슬라이딩 도어가 포함됩니다.
장치는 자동 슬라이딩 도어가 포함됩니다.
옵션/엑세서리
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TETRA-100-LF-PC
PC 제어. 장치는 자동 슬라이딩 도어가 포함됩니다.
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특수 플라즈마 장치 Tetra-120-LF-PC: |
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챔버 체적이 120리터이고 PC로 제어하고 전자동 도어를 장착한 Tetra-120은 일괄생산/일괄공정(세정, 식각, 활성화)을 처리할 수 있습니다. 장치의 특징:
명칭: 자동 도어를 장착한 플라즈마 식각기 Tetra-120-LF-PC:
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기술 데이터:
플라즈마 식각기 Tetra-120-LF-PC
배전반:
W 600 mm, H 2,150 mm, T 1,000 mm
챔버:
W 1,200 mm, H 150 mm, T 1,700 mm
챔버 체적:
약 120리터
가스 공급:
MFC를 사용한 4개의 가스 채널
제너레이터:
2개 (각각 40kHz)
(옵션: 13.56 MHz 또는 2.45 GHz)
제어장치:
PC 제어(Windows)
자동:
자동 도어를 장착함.
옵션/엑세서리
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PC로 제어하는
TETRA-120-LF-PC. 자동 도어를 장착함. |
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특수 플라즈마 장치 Tetra-140-LF-PC: |
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챔버 체적이 140리터이고 PC로 제어하는 Tetra-140-LF-PC는 일괄생산/일괄공정(세정, 식각, 활성화 및 플라즈마 중합)을 처리할 수 있습니다. 장치의 특징:
명칭: 플라즈마 식각기 Tetra-140-LF-PC:
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기술 데이터:
플라즈마 식각기 Tetra-140-LF-PC
배전반:
W 1,000 mm, H 1,800 mm, T 1,000 mm
챔버:
W 1,000 mm, H 100 mm, T 1,400 mm
챔버 체적:
약 140리터
가스 공급:
MFC를 사용한 2개의 가스 채널
플라즈마 중합을 위한 액체 모노머 도징
제너레이터:
1개 (각각 40kHz)
(옵션: 13.56 MHz 또는 2.45 GHz)
제어장치:
PC 제어(Windows)
옵션/엑세서리
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PC로 제어하는
TETRA-140-LF-PC. |
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특수 플라즈마 장치 Tetra-240-LF-PC: |
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챔버 체적이 240리터이고 PC로 제어하는 Tetra-240은 일괄생산/일괄공정(세정, 식각, 활성화)을 처리할 수 있습니다. 장치의 특징:
명칭: 플라즈마 식각기 Tetra-240-LF-PC
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기술 데이터:
플라즈마 식각기 Tetra-240-LF-PC
배전반:
W 600 mm, H 1,700 mm, T 3,200 mm
챔버:
W 305 mm, H 300 mm, T 2,600 mm
챔버 체적:
약 240리터
가스 공급:
MFC를 사용한 3개의 가스 채널
제너레이터:
1개 (40kHz)
(옵션: 13.56 MHz 또는 2.45 GHz)
제어장치:
PC 제어(Windows)
옵션/엑세서리
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PC로 제어하는
TETRA-240-LF-PC. |
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특수 플라즈마 장치 Tetra-375-LF-PC: |
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챔버 체적이 375리터이고 PC로 제어하는 Tetra-375은 일괄생산/일괄공정(세정, 식각, 활성화)을 처리할 수 있습니다. 장치의 특징:
명칭: 플라즈마 식각기 Tetra-375-LF-PC
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기술 데이터:
플라즈마 식각기 Tetra-375-LF-PC
배전반:
W 600 mm, H 2,100 mm, T 800 mm
챔버:
W 600 mm, H 360 mm, T 1,900 mm
챔버 체적:
약 375리터
가스 공급:
MFC를 사용한 2개의 가스 채널
제너레이터:
2개 (각각 40kHz)
(옵션: 13.56 MHz 또는 2.45 GHz)
제어장치:
PC 제어(Windows)
옵션/엑세서리
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PC로 제어하는 TETRA-375-LF-PC
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특수 플라즈마 장치 Tetra-400-LF-PC: |
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챔버 체적이 400리터이고 PC로 제어하고 전자동 슬라이딩 도어를 장착한 Tetra-400은 일괄생산/일괄공정(세정, 식각, 활성화)을 처리할 수 있습니다. 장치의 특징:
명칭: 자동 슬라이딩 도어를 장착한 플라즈마 식각기 Tetra-400-LF-PC:
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기술 데이터:
플라즈마 식각기 Tetra-400-LF-PC
배전반:
W 600 mm, H 2,100 mm, T 650 mm
챔버:
W 915 mm, H 750 mm, T 725 mm
챔버 체적:
약 400리터
가스 공급:
MFC를 사용한 3개의 가스 채널
제너레이터:
2개 (각각 40kHz)
(옵션: 13.56 MHz 또는 2.45 GHz)
제어장치:
PC 제어(Windows)
자동:
슬라이딩 도어를 장착함
옵션/엑세서리
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PC로 제어하는 TETRA-400-LF-PC
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플라즈마 장치 TETRA-400-LF-PC 자동 슬라이딩 도어를 장착함.
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특수 플라즈마 장치 Tetra-420-LF-PC: |
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챔버 체적이 400리터이고 PC로 제어하는 Tetra-420은 일괄생산/일괄공정(세정, 식각 및 활성화)을 처리할 수 있습니다. 이 장치는 특히 PCB의 스미어 제거에 사용됩니다. 장치의 특징:
명칭: 플라즈마 식각기 Tetra-420-LF-PC
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기술 데이터:
플라즈마 식각기 Tetra-420-LF-PC
배전반:
W 1,600 mm, H 2,100 mm, T 1,200 mm
챔버:
W 750 mm, H 800 mm, T 750 mm
챔버 체적:
약 420리터
가스 공급:
MFC를 사용한 4개의 가스 채널
제너레이터:
4개 (각각 40kHz)
(옵션: 13.56 MHz 또는 2.45 GHz)
제어장치:
PC 제어(Windows)
옵션/엑세서리
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TETRA-420-LF-PC
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PCB 제품캐리어 |
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특수 장치 Tetra-500-LF-PC: |
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롤 이동 시스템을 장착하고 챔버 체적이 500리터이고 PC로 제어하는 Tetra-500은 일괄생산/일괄공정(예를 들어, 호일의 세정, 식각 및 활성화)을 처리할 수 있습니다. 장치의 특징:
명칭: 플라즈마 식각기 Tetra-500-LF-PC / 롤 이동:
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기술 데이터:
플라즈마 식각기 Tetra-500-LF-PC
배전반:
W 600 mm, H 2,100 mm, T 800 mm
챔버:
W 1,500 mm, H 1,700 mm, T 200 mm
챔버 체적:
약 500리터
가스 공급:
MFC를 사용한 3개의 가스 채널
제너레이터:
2개 (각각 40kHz)
(옵션: 13.56 MHz 또는 2.45 GHz)
부품 유입:
2개의 롤 이동 시스템
제어장치:
PC 제어(Windows)
옵션/엑세서리
Tetra-500-LF-PC /
롤 이동 시스템:
PC 제어. |
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롤 이동 시스템: 내부도
Tetra-500-LF-PC /
롤 이동 시스템:
측면도 |
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특수 플라즈마 장치 Tetra-600-LF-PC 버전 1: |
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챔버 체적이 600리터이고 PC로 제어하는 Tetra-600은 일괄생산/일괄공정(세정, 식각 및 활성화)을 처리할 수 있습니다. 장치의 특징:
명칭: 플라즈마 식각기 Tetra-600-LF-PC: |
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기술 데이터:
플라즈마 식각기 Tetra-600-LF-PC
배전반:
W 600 mm, H 2,200 mm, T 800 mm
챔버:
W 1,000 mm, H 1,000 mm, T 600 mm
챔버 체적:
약 600리터
재질:
2개 (각각 40kHz)
(옵션: 13.56 MHz 또는 2.45 MHz)
부품 유입:
10단/제품 캐리어
제어장치:
업계 필드 버스를 장착한
PC 제어(Windows)
옵션/엑세서리
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TETRA-600-LF-PC: 제품 캐리어, 닫힘
TETRA-600-LF-PC: 제품 캐리어, 열림 |
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특수 플라즈마 장치 Tetra-600-LF-PC 버전 2: |
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챔버 체적이 600리터이고 PC로 제어하는 Tetra-600은 일괄생산/일괄공정(세정, 식각 및 활성화)을 처리할 수 있습니다. 장치의 특징:
명칭: 플라즈마 식각기 Tetra-600-LF-PC:
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기술 데이터:
플라즈마 식각기 Tetra-600-LF-PC
배전반:
W 1,800 mm, H 1,800 mm, T 800 mm
챔버:
W 580 mm, H 730 mm, T 1,000 mm
2개의 사이트 글라스를 장착한 도어
챔버 체적:
약 600리터
재질:
1개 40 kHz, 자동 매칭
가스 공급:
MFC를 사용한 2개의 가스 채널
제어장치:
업계 필드 버스를 장착한
PC 제어(Windows)
옵션/엑세서리
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TETRA-600-LF-PC: 제품 캐리어, 닫힘
TETRA-600-LF-PC: 제품 캐리어, 열림 |
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회전 드럼을 장착한 특수 플라즈마 장치 Tetra-600-LF-PC 버전 1: |
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챔버 체적이 600리터이고 PC로 제어하고 회전 드럼을 장착한 Tetra-600은 일괄생산/일괄공정(세정, 식각 및 활성화)을 처리할 수 있습니다. 장치의 특징:
명칭: 회전 드럼을 장착한 플라즈마 식각기 Tetra-600-LF-PC: |
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기술 데이터:
플라즈마 식각기 Tetra-600-LF-PC
배전반:
W 600 mm, H 2,200 mm, T 800 mm
챔버:
W 1,100 mm, H 1,100 mm, T 700 mm
챔버 체적:
약 600리터
재질:
2개 (각각 40kHz)
(옵션: 13.56 MHz 또는 2.45 GHz)
부품 유입:
회전 드럼(용량이 각각 30리터인 4개의 바스켓)
제어장치:
업계 필드 버스를 장착한
PC 제어(Windows)
옵션/엑세서리
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TETRA-600-LF-PC: 회전 드럼, 닫힘
TETRA-600-LF-PC: 회전 드럼, 열림 |
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회전 드럼을 장착한 특수 플라즈마 장치 Tetra-600-LF-PC 버전 2: |
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챔버 체적이 600리터이고 PC로 제어하고 회전 드럼을 장착한 Tetra-600은 일괄생산/일괄공정(세정, 식각 및 활성화)을 처리할 수 있습니다. 장치의 특징:
명칭: 회전 드럼을 장착한 플라즈마 식각기 Tetra-600-LF-PC: |
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기술 데이터:
플라즈마 식각기 Tetra-600-LF-PC
배전반:
W 1,000 mm, H 2,200 mm, T 1,800 mm
챔버:
W 750 mm, H 1,000 mm, T 750 mm
2개의 사이트 글라스를 장착한 도어
챔버 체적:
약 600리터
재질:
4개(각각 40 kHz)
자동 매칭
가스 공급:
MFC를 사용한 2개의 가스 채널
제어장치:
업계 필드 버스를 장착한
PC 제어(Windows)
옵션/엑세서리
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TETRA-600-LF-PC: 회전 드럼, 닫힘
TETRA-600-LF-PC: 회전 드럼, 열림 |
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특수 플라즈마 장치 Tetra-2,000-LF-PC |
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챔버 체적이 2,000리터이고 PC로 제어하는 Tetra-2,000은 일괄생산/일괄공정(세정, 활성화)을 처리할 수 있습니다. 장치의 특징:
명칭: 플라즈마 식각기 Tetra-2,000-LF-PC
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기술 데이터:
플라즈마 식각기 Tetra-2,000-LF-PC
챔버:
W 1,000 mm, H 2,000 mm, T 1,000 mm
챔버 체적:
약 2,000리터
재질:
1개(13.56 MHz)
부품 유입:
제품 캐리어를 사용한 충진(세 번째 그림 참조)
제어장치:
업계 필드 버스를 장착한 PC 제어(윈도)
옵션/엑세서리
플라즈마 장치의 진공 챔버용 제품 캐리어
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Tetra-2.000-LF-PC: 래커링 전에 플라스틱 부품의 세정 및 활성화
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Tetra-2.000-LF-PC 배전반 |
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특수 플라즈마 장치 Tetra-2400-LF-PC: |
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챔버 체적이 2,400리터이고 PC로 제어하는 Tetra-2400은 일괄생산/일괄공정(세정, 식각 및 활성화)을 처리할 수 있습니다. 장치의 특징:
명칭: 플라즈마 식각기 Tetra-2400-LF-PC |
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기술 데이터:
플라즈마 식각기 Tetra-2400-LF-PC
배전반:
W 600 mm, H 2,200 mm, T 800 mm
챔버:
W 1,100 mm, H 1,100 mm,
T 2,500 mm
챔버 체적:
약 2400리터
재질:
4개 (각각 40kHz)
(옵션: 13.56 MHz 또는 2.45 GHz)
부품 유입:
회전 드럼(용량이 각각 30리터인 16개의 바스켓)
제어장치:
업계 필드 버스를 장착한 PC 제어(윈도)
옵션/엑세서리
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생산에 컨셉트를 맞춘 TETRA-2400-LF-PC : 세정, 활성화 및 식각 |
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특수 플라즈마 장치 Tetra-2800-LF: |
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챔버 체적이 2800리터이고 PC로 제어하는 Tetra-2800은 일괄생산/일괄공정(세정, 식각, 활성화)을 처리할 수 있습니다. 장치의 특징:
명칭: 플라즈마 식각기 Tetra-2800-LF
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기술 데이터:
플라즈마 식각기 Tetra-2800-LF
배전반:
W 600 mm, H 1,700 mm, T 800 mm
챔버:
Ø 1,200 mm, L 2,500 mm
챔버 체적:
약 2800리터
가스 공급:
MFC를 사용한 3개의 가스 채널
제너레이터:
1개 (40kHz)
(옵션: 13.56 MHz 또는 2.45 GHz)
옵션/엑세서리
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TETRA-2800-LF
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특수 플라즈마 장치 Tetra-4400-LF-PC: |
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챔버 체적이 4,400리터이고 PC로 제어하는 Tetra-LF-PC 4400은 일괄생산/일괄공정(세정, 식각, 활성화)을 처리할 수 있습니다. 장치의 특징:
명칭: 플라즈마 식각기 Tetra-4400-LF-PC
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기술 데이터:
플라즈마 식각기
Tetra-4400-LF-PC
배전반:
W 1,800 mm, H 1,000 mm, T 800 mm
챔버:
W 1,350 mm, T 1,250 mm,
H 1,900 mm
챔버 체적:
약 4,400리터
가스 공급:
MFC를 사용한 3개의 가스 채널
제너레이터:
고주파 공급::
4개 (40kHz)
제어장치:
PC 제어(Windows)
특징:
산소 생성기
루트 펌프용 플라즈마 세정 소스
옵션/엑세서리
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TETRA-LF-PC 4400
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특수 플라즈마 장치 Tetra-7500-LF-PC: |
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챔버 체적이 7500리터이고 PC로 제어하는 Tetra-LF-PC 7500은 일괄생산/일괄공정(세정, 식각, 활성화)을 처리할 수 있습니다. 장치의 특징:
명칭: 플라즈마 식각기 Tetra-7500-LF-PC
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기술 데이터:
플라즈마 식각기
Tetra-7500-LF-PC
배전반:
W 3,000 mm, H 2,000 mm, T 1,000 mm
챔버:
L 2,250 mm, T 1,000 mm, H 2,450 mm
챔버 체적:
약 7,500리터
가스 공급:
MFC를 사용한 2개의 가스 채널
제너레이터:
1개 (40kHz)
(옵션: 13.56 MHz 또는 2.45 GHz)
제어장치:
PC 제어(Windows)
옵션/엑세서리
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TETRA-LF-PC 7500
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특수 플라즈마 장치 Tetra-12,600-LF-PC |
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챔버 체적이 12,600리터이고 PC로 제어하는 Tetra-12,600은 일괄생산/일괄공정(세정, 활성화)을 처리할 수 있습니다. 장치의 특징:
명칭: 플라즈마 식각기 Tetra-12,600-LF-PC |
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기술 데이터:
플라즈마 식각기 Tetra-12600-LF-PC
챔버:
W 2,400 mm, H 2,100 mm, T 2,500 mm
챔버 체적:
약 12,600리터
재질:
6개 (각각 40kHz)
(옵션: 13.56 MHz 또는 2.45 GHz)
부품 유입:
롤 캐리어를 사용한 충진(두 번째 그림 참조)
제어장치:
업계 필드 버스를 장착한 PC 제어(Windows)
옵션/엑세서리
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Tetra-12,600-LF-PC: 래커링 전에 플라스틱 부품의 세정 및 활성화
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Tetra-12.600-LF-PC 내의 플라즈마: 활성화할 플라스틱 부품 |
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롤 캐리어는 장치의 충진에 사용됩니다.
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