플라즈마 장치

당사 플라즈마 장치관련 하여 아래의 옵션/액세서리는 공급 가능합니다.

1. 13,56 MHz – 제너레이터
   임피던스 보정의 고정, 수동 및 자동 가능 메인 응용 분야는 활성화, 세정, 식각, 반도체(프론트-엔드),반도체(백-엔드) 플라즈마폴리이멀젼 입니다.





2. 40 kHz – 제너레이터
   메인 응용 분야는 활성화, 세정, 식각, 반도체(프론트-엔드),반도체(백-엔드) 플라즈마폴리이멀젼 입니다.






3. 2.45 GHz – 제너레이터 (극초단파)
   메인 응용 분야는 활성화, 세정, 식각, 반도체(프론트-엔드),반도체(백-엔드) 플라즈마폴리이멀젼 입니다.



4. 유체 투입량 조절을 위한 2/2 방향 밸브
   설정된 모노머 양 투입을 위한 밸브  



5. 반 자동 제어장치
   메뉴 항목 플라즈마 장치/제어장치/반자동 제어장치에서 당사의 다양한 제어장치제어장치에 대한 자세한 설명을 볼 수 있습니다.  확대하려면 그림을  클릭하십시오





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6. 전 자동 제어장치
   메뉴 항목 플라즈마 장치/제어장치/자동 제어장치에세 당사의 다양한 제어장치에 대한 자세한 설명을 볼 수 있습니다.




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7. PC –제어
   메뉴 항목 플라즈마 장치/제어장치/자동 제어장치에서 당사의 다양한 제어장치에 대한 자세한 설명을 볼 수 있습니다.
   
   
   
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8. PCCE 제어
   터치 패널이 있는 Windows CE 기반 메뉴 항목 플라즈마 장치/제어장치/PCCE 제어에서 당사의 다양한 제어장치대한 자세한 설명을 볼 수 있습니다.




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9. 활성 탄소 필터
   활성 탄소 필터는 간단히 교체할 수 있습니다.
   

   

   
   
   
10. 진공 흡입 필터
    진공 펌프를  공기중의 입자, 코팅재 및 오염으로부터 보호합니다.









11. 자동 문 공정  
    시작 시 자동으로 닫히는 문





12. 바코드 리더
     적재 추적용






13.  가열가능한 챔버
    챔버를 80°C까지 가열 가능 온도 제어 가능 정의된 공정  조건과 높은 식각 속도를 위한 챔버입니다.
    
    
14. 바이어스  스트레스 측정
    바이어스 스트레스 측정장치는 측정장치로서 kHz 및MHz 제너레이터용이 있습니다. 



15. 버블 병
    버블 병은  중합을 위한 액세서리로서  유체 모노머를 진공 챔버에 연결해줍니다. 간단한 모노머 병 대신에 운반기운반 가스로 작업합니다. 운반기운반 가스( 예: 아르곤)는 모노머에 의해 세정됩니다.





16. 버터플라이 밸브
    버터플라이 밸브는 진공 기술에서 무엇 보다도 진공 펌프의 흡입 라인 내에 가스 유동의 제어에 사용됩니다.  라인의 유동 저항은 플랩의 열린 정도 설정을 통해 변경할 수 있습니다.






17. 다국어 설명서
    기계 지침 89/392/EWG에 따라 설명서가 작성되었습니다. 이는 독일어와 영어에 적용됩니다. 설명서는 장치에 자동으로 포함되지 않기 때문에, 개별적으로 주문해야 합니다.



18. 회전 드럼
    벌크제품의 적재를 위한 제품 운반수단
    
    
    
    
    
19. 압력센서
    피라니 센서  또는 바라트론 -진공 챔버의 압력 표시






20. 감압밸브
    가스 실린더의 연결을 위한 감압밸브 – 200 바 가스의 종류에 따라 다양한 감압밸브를 필요로 합니다. 이에 따라불활성 기체 H2, O2, CF4, C4F8용 감압밸브와 NH3용 감압밸브가  있습니다.






21. 패싱 장치
    자동 가공라인에 저압플라즈마 장치를 통합하기 위한 장치



22. 표준 또는 PFPE 예비부품 세트
    예비부품 세트에는 각각 클램핑 링 1개, 실링 1개, 스테인레스- 샤프트 튜브(진공튜브) 1개, 유리창 1개, 도어실링 1개,  플라즈마 장치용 정밀퓨즈 10개가 포함되며, 또한 표준 세트에는 진공펌프용1 리터 미네랄 오일과, PEPE 세트에는 1리터 PEPE 오일이 포함됩니다.






23. 라벨 인쇄기
    플라즈마 처리 후 라벨이 자동으로 인쇄됨





24. 라벨 리더
    적재 추적용



25. 페러데이 박스 / 케이지
    전기적으로 예민한 부품용  처리작업 예정인 부품을 페러데이 박스에 넣습니다. 이것은 진공 챔버로부터 수취할 수 있습니다.






26. 가스 실린더
    브래킷작업 스탠드, 작업 랙 또는 레일 고정용 확장 범위는 70 mm입니다. 확장 벨트는 공극이 없도록 합니다. 모든 실린더 크기에 적합합니다.






27. 가스 경보기
    작업장의 발화성 가스 사용시 추가적인 안전 옵션



28. 발열판
    작업예정인 부품을 발열판에 올려놓으며, 최대 150°C까지 가열할 수 있습니다. 이는 정의된 공정  조건에서의 높은 식각 속도에 적합합니다. 두가지 옵션이 있습니다.
    온도표시장치가 장착된 경우 진공 챔버 내의 온도센서에서 부품의 표면온도를 측정할 수 있습니다.
    온도표시장치가 PC-제어장치에 통합된 경우 진공 챔버 내의 온도센서가 부품의 표면온도를 측정할 수 있습니다 온도가 모니터에 표시됩니다.






29. 현장에서의 플라즈마 장치 설치
    이 옵션에는 출장시간, 작업시간 및 당사의 서비스 엔지니어의 출장 경비가 포함됩니다.
    


30. 이온 플로우 측정 센서공정  
    진행 중의 추가적인 플라즈마 품질 관리



31. 부식성 가스 사용
    스테인레스 밸브 스테인레스 파이프 플라즈마 중합시 또는 NH3, H2O, CF4, SF6와 같은 부식성 가스 사용 시 필수 사항 



32. 고객 맞춤형 제품 운반기
    당사 장치는 기본적으로 제품 운반기와 함께 인도됩니다. 추가적인 또는 다른 방식의 장치는 Diner electronic과의 컨설팅을 통해 제공 받을 수 있습니다.  플라즈마 장치의 최적 사용






33. 래커 스프레이 / 글라스플레이트 세트(LABS 프리 테스트)  
    래커 사용 –간섭 –테스트용 액세서리  인도 범위 캔 용기의 래커 스프레이 400 ml 5 개 글래스 플레이트(90mm X 110 mm) 100 개






34. 진공 챔버의 저속 통풍
    진공 챔버는 필터를 통해 천천히 진행됩니다. 이것은 챔버 내의 작은 부품들이 소용돌이 치는 것을 방지합니다.



35. 진공 챔버의 저속 펌핑
바이패스 밸브를 통한 진공 챔버의 저속 펌핑 이것은 챔버 내의 작은 부품들이 소용돌이 치는 것을 방지합니다.


36. 더 길어진 진공 챔버 (Femto, Pico, Nano, ...)
    DIN 12198에 따라 당사의 장치(사이트 글라스)로 자외선 강도를 측정했습니다. 결과: 무해함 스테인레스, 붕규산유리 또는 납유리의 진공 챔버가 인도 가능합니다. 커버와 프레임 조인트가 처리된 도어 사이에 챔버 클로저를 선택할 수 있습니다. 진공 챔버의 길이는플라즈마 용도에 따라 결정됩니다. 당사에 문의하십시오.



37. 출력 표시
    제너레이터의 출력 표시 아날로그 표시 계기판







38. 다단 –전극
    다단 전극은 원형 및/또는 사각의 진공챔버용으로 인도 가능합니다. 여러 개의 부품을 동시에 처리할 수 있습니다. 응용 분야는 표준 플라즈마 공정  입니다. 개별 전극의 정확한 구성 및 제품 운반기 생산을 위한 다른 재질에 관련한 문의는 Diner eloctronic에 문의하십시오.






39. 극초단파 기밀 테스터 위험한
    방사가 존재하기 때문에 극초단파 기밀 테스터를 극초단파 장치에 설치할 필요가 있습니다. 



40. 모노머 실린더
    중합용 액세서리 유체 모노머와 진공 챔버의 연결용






41. 네트워크 연결
    컴퓨터에 장치들을 연결할 수 있도록 합니다.



42. OES -광학 방출 스펙트럼 측정 장치
    품질 관리를 위한 플라즈마공정  모니터링 플라즈마공정 의 최종 포인트 검출 OES는 PC에 의해 제어되는 장치에만 연결할 수 있습니다.



43. 중합
    액세서리증발 실린더, 저울,투입펌프, 가열기, 필요에 따라 브래킷 이 포함되어 있습니다.



44. 공정 가스 용기
    공정 가스로써 연결 시 산소 용기 2.5 , 10 리터, 수소 용기 2 리터, 아르곤 용기 5 리터 가스 인도를 위한 특별 운송 조건에 유의하십시오.  장치 임대 시 용기 구매가 필요 합니다.



45. 석영유리 보트
    고순도 플라즈마 공정용 또는 웨이퍼 처리용






46. RIE 전극
    식각 속도를 높이기 위한 스테인레스 소재의 원형 및 사각 전극 응용 분야에는 비등방성과 등방성 식각이 포함 됩니다.






47. 가스 샤워 RIE 전극
    균일한 가스분포를 통해 식각 속도를 높이기 위한  스테인레스 소재의 정사각형 전극 응용 분야로 비등방형 식각이 포함됩니다.






48. 롤간 시스템
    예를 들어, 호일/ 리드 프레임 처리용







49. 산소 제너레이터
    산소는 주위 공기로부터 얻습니다.  Kröber O2 타입 산소량: 3-6 l/min.






50. 안전 밸브
    예를 들어, 수소, 알킨과 같은 발화성 가스 운전용






51. 특수 전극 및 제품 운반기
    정확한 개별 전극의 구성 및 제품 운반기 제작을  위한 다른 재질에 관련한 문의는 Diener electronic에 문의하십시오.





52. 특수 용기 / 추가  용기
    준비된 연결부보다 많은 연결부ᄳ