플라즈마 장치 – 컨트롤

제어장치는 산업-필드버스에 연결된 PC를 통해 가능하며 MS Windows 기반으로 가동됩니다.
엑셀 데이터로 공정 데이터는 저장 가능합니다. 다음 매개변수의 설정이 가능합니다.

• 토출압
• 최대토출시간
• 가스 물질유량
• 공정 압력
• 안정화 시간
• HF 출력
• 공정 시간
• 세정 시간
• 공조 시간ㄴ
• 오류 한계
• 하위 프로그램