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기술 데이터:
디지털 타이머를 장착한
플라즈마 세정기 Femto
배전반:
W 345 mm, H 220 mm, T 420 mm
챔버:
Ø 100 mm, L 270 mm
챔버 체적:
약 2리터
가스 공급:
니들 밸브를 사용한 1개의 가스 채널
제너레이터:
40kHz/100W, 무단식
진공 펌프:
Leybold, 타입 S1.5 (1.5m³/h)
부품 유입:
1개의 제품 캐리어
제어장치:
수동, 타이머를 사용한 공정 시간
옵션/액세서리
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소형장치 FEMTO : 공정개발, 세정, 활성화, 소량 일괄 식각
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