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기술 데이터:
배전반:
W 600 mm, H 1,700 mm, T 800 mm
챔버:
W 360 mm, H 150 mm, T 260 mm
챔버 체적:
약 15리터
가스 공급:
MFC를 사용한 2개의 가스 채널
제너레이터:
2개 (각각 40kHz)
(옵션: 13.56 MHz 또는 2.45 GHz)
제어장치:
PC 제어(Windows)
자동:
자동 여닫이 도어를 장착함.
옵션/엑세서리
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자동 여닫이 도어를 장착하고 PC로 제어하는 TETRA-15-LF-PC 생산 컨셉트: 세정, 활성화, 식각 |
