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기술 데이터:
배전반:
W 1,000 mm, H 2,100 mm, T 1,000 mm
챔버:
W 400 mm, H 600 mm, T 625 mm
챔버 체적:
약 150리터
가스 공급:
MFC를 사용한 2개의 가스 채널
제너레이터:
40 kHz/0-2,500 W
(옵션: 13.56 MHz 또는 2.45 GHz)
진공 펌프:
Leybold, 타입 D65B (65 m³/h)
부품 유입:
최대 16개의 제품 캐리어
(옵션: 회전 드럼)
제어장치:
PC 제어(Windows)
옵션/엑세서리
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생산을 위한TETRA-150-LF-PC: 세정, 활성화, 식각
6단 제품 캐리어 및 TETRA 시스템용 |
