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기술 데이터:
배전반:
W 580 mm, H 650 mm, T 600 mm
챔버:
Ø 267 mm, L 420 mm
챔버 체적:
약 24리터
가스 공급:
니들 밸브를 사용한 2개의 가스 채널
제너레이터:
40kHz/300W, 무단식
(옵션: 13.56 MHz o. 2.45 GHz)
진공 펌프:
Leybold, 타입 D8B (8 m³/h)
부품 유입:
1개의 제품 캐리어
제어장치:
반자동, 타이머를 사용한 공정 시간
옵션/액세서리 |
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반자동으로 제어하는 소형 장치 NANO: 세정, 활성화, 식각, 코팅
전자동으로 제어하는 소형 장치 NANO:
세정, 활성화, 식각, 코팅 |
