기술 데이터:
Femto PCCE
배전반:
W 562 mm, H 211 mm, T 420 mm
챔버:
Ø 100 mm, L 280 mm
챔버 체적:
약 2.8리터
가스 공급:
MFC를 사용한 2개의 가스 채널
제너레이터:
40kHz/100W, 무단식
진공 펌프:
Leybold, 타입 S1.5 (1.5m³/h)
부품 유입:
1개의 제품 캐리어
제어장치:
PC 제어
옵션/엑세서리
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소형 FEMTO PCCE(정면도) : 소형 시리즈의 공정 개발, 세정 ,
활성화, 식각
소형 FEMTO PCCE(후면도)
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