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플라즈마 장치 – 표준 장치

 

[ 피라니 진공 측정장치]

   
 

응용 분야:

  • 저압 플라즈마에 진공-시스템 공정  적용
   
   
 

저압 –진공 측정장치 압력 범위 10-² 에서 10 밀리바

 
 
    • 측정 가능한 압력 범위는 10-² 에서 10 밀리바
      절대 공차 범위 5% 이내
    • 아날로그 출력 0 에서 10 볼트는 세 가지의 측정 가능한 압력단위를 3.3 V 래스팅에 맞도록 조정했습니다.
      (0.01 mbar = 0V; 0.1 mbar = 3.3V; 1 mbar = 6.6V; 10 mbar =10V)
    • 공정 승인을 위한 스위칭 출력(최소/최대 압력)은 230V AC/1A까지 부하가 적용될 수있습니다.
      수치의 사전 설정은 내부 설정 제어기 또는 SW를 통해 가능합니다.
    • 독립형 또는 공정  제어가 적용된 운영 체제를 위한 컨트롤러 제어가 가능합니다.
    • 인터패이스: LAN (RJ45)과 USB 2,특히 SW 업데이트 시 유용. RS485는 공정 제어의 "임베디드 모드" 에서 가능합니다.
    • 센서 헤드(0.1 mm의 플래티늄 합금 전선)는 전기적, 기계적으로 설계되어 화학적인 영향과 고주파수의 영향을 잘 견딥니다.
    •  DIP 스위치 또는SW를 통해 다양한 가스의 압력 곡선 보정이 가능합니다. (개발 중)
    • 공급 전압: 88-264 VAC/47 - 63 Hz
      또는 "임베디드 모드"의 경우 15-24 V DC
    • 출력 약 5W
    • 어댑터 코드: IEC
    • 무게: 약1.5 kg, 센서 해드 약 400g
    • 크기: 19 –인치 드로우; 3 HE
      


 











 

   
   
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