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플라즈마 장치는 이렇게 작동되며, 제너레이터가 필요합니다. 원하는 플라즈마 응용 분야를 위한 최적의 주파수는 일반적으로 정의할 수 없으며, 상황에 맞게 결정해야 합니다. Diener electronic 에 따르면 오래 전부터 작동 주파수가 40 Khz 에서 2.45 Ghz인 플라즈마 제너레이터가 출시되었으며, 현재 자체 개발로 생산되는 13.56 MHz의 100와트및 300 와트 제너레이터가 추가되었습니다.
13.56 MHz-제너레이터의장점:
- RIE작업 가능
- 2.45 GHz 대비 균일성이 더 좋음
- 같은출력대비식각속도가 40 Khz보다더높음
- 금속 회전드럼을 문제없이 사용할 수 있습니다.
- 전극/제품 운반기를 설치할 수 있으나 전극 대칭화는 비용이 많이 듭니다.
- 프론트앤드및–백–앤드–반도체공정에적합합니다.
- 플리즈마-중합 공정 시 높은 코팅 속도
주요 응용 분야는 활성화, 세정, 식각, 반도체(프론트 엔드),반도체(백 엔드) 플라즈마 중합화입니다. 임피던스 보정은 수동(수동정합) 자동(자동정합)을통해수행되며, HF 시스템은 제너레이터와 정합을 통해 구성되므로, 모든 상황에서 필요합니다.
수동 정합을 통한 정합의 경우 각 공정 시작 시 설정되며 공정 작동 중 제어를 통해 보정해야 하는 반면, 컨덴서는 자동으로 설정되며 변경 시 보정된다.
이외에 전진 및 후진 성능, 도어 스위치를 통한 안전스위치 차단 및 진공 안전스위치, DIN EN 55011을 준수하기 위한 석영으로 안정화된 주파수 및 PC 인터페이스가 가능합니다. |
