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플라즈마 장치 - 표준 장치

 

[ RF 제너레이터 ]

   
 

응용 분야:

  • 저압 플라즈마
  • RF 가열기
   
   
 

RF 제너레이터13.56 MHz, 100 W

 
 
    • RF 정격 출력: 100 와트
    • 주파수: 13.560 MHz ± 100ppm
    • 설정 가능한 RF 출력:
        0 - 100 와트, 연속
    • 제너레이터를 펄스로 작동할 수 있습니다.
        최소 작동 시간: 5µs
    • 임피던스: 50 오옴
    • RF 안정성: 5% 미만
        (사용돤 보정장치에 따라 다름)
    • 배출구 개방에서 단락까지 오류 보정을 할 수 있습니다.
    • 성능 감소 없이 최대 오류보정  VSWR = 1.2
    • 최대 부하로 RF 작동 가능
    • 전원 연결: 88 - 264 V WS / 47 - 63  Hz (외부 전원 연결)
    • 인입 전력 최대 220 와트
    • 리모컨 연결 :
        - RF ON/OFF
        - RF 출력 설정
         (0...10V = 0...100%)
    • RF 정격 출력: N 소켓
    • 전원 연결: 외부 전원모듈
    • 무게: 약 6.5 kg (제너레이터)과   1.0 kg (전원 공급장치)
 
RF 제너레이터
RF 제너레이터
RF 제너레이터


 

   
   
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