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플라즈마 장치 - 표준 장치
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[ 자동 정합 13.56 MHz ]
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응용 분야:
저압 플라즈마에서 13.56 MHz HF 제너레이터의 자동 또는 수동 보정
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자동 정합 13.56 MHz
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- HF 출력 300 와트/
600 와트
- 주파수: 13,56 MHz
- HF 작동 방식
연속 또는 펄스
- 임피던스: 50 오옴
- 입력 콘센트 연결: N 소켓
- 출력 임피던스: Dienrer electronic의 150 리커까지의 모든 플라즈마 챔버와 호환
- HF 출력 100 와트까지의 N 내장 소켓 또는 300 와트까지의 7/16 내장 소켓
- 특히 Diener electronic의 HF –제너레이터용으로 적합합니다. 또는 전후진 출력을 위해 0-10 Volt 신호를 만드는 13,56 MHz용 300 와트 HF 제너레이터용으로도 적합합니다.
- 스스로 또는 장치 PC에 의해 작동되는 마이크로 제어장치를 장착
- 리모컨 연결 :
- 초기값 사전 설정
- 작동 모드 수동/ 자동 설정
- 현재 설정의 피드백
- 소프트웨어-업데이트 또는 원격 제어용 RS232-인터페이스
- 공급 전압: 88-264 VAC / 47-63 Hz
- 인입 전력 최대 65 와트
- 전원 커넥터: IEC
- 무게: 약20 kg
- 크기: 19 –인치 슬롯; 3 HE
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