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플라즈마 세정 소스는 건식 진공펌프, 루트 또는 로터리 펌프에 대한 선택적 가스 세정입니다.
상응하는 플라즈마 공정을 수행하기 위해 다양한 플라즈마 장치에 대해 알맞은 건식 진공 펌프 또는 루트 또는 스크류 펌프가 있습니다. 실제 플라즈마 응용 시 이러한 펌프는 지속적인 유체압력에 의해 오염되며, 그 결과 진공펌프의 기능이 저하됩니다.
플라즈마 세정 소스는 Deiner electronic에서 개발되어 생산 중입니다. 특허를 취득한 부분은 진공펌프에 대한 보호이며 빈 공간 역시 세정됩니다.
플라즈마세정소스는실제공정가스공급과출구에서부터빈공간및빈공간내부또는옆면에플라즈마를발생시키는전극으로구성됩니다. 빈공간의적체물은언제든제거할수있으며사전에방지할수있습니다. 이로써 진공펌프의 수명을 연장할 수 있습니다.
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