공임

[ 표면 식각 ]

반응이 빠른 공정 가스로 표면을 식각합니다. 물질은 분리되어 가스단계로 변화하여 흡입됩니다. 표면은 확장되어 가용성이 개선됩니다.

응용 분야:

플라즈마 처리 이전에 식각 마스크가 적용된 실리콘

플라즈마 처리

플라즈마 처리 후

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